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  • 產品名稱:半導體液氮真空管道

  • 產品型號:
  • 產品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
半導體液氮真空管道通過易于安裝,更低的熱泄漏和緊密公差的卡口接頭連接。用于MBE工藝以及半導體組裝和測試設施中集成芯片(IC)的冷測試。
詳情介紹:


半導體液氮真空管道采用高真空絕熱結構,更大限度的降低了液氮在輸送過程中的消耗,用于超低溫介質的長距離輸送,用于安全有效地傳輸液氮.

半導體液氮真空管道的特點:

結構合理,不冒汗,蒸發率低

引進高真高多層絕熱制造技術;

快速絕熱,強度高,安全可靠

管道端部絕熱支撐采用了平衡強度設計,安全可靠;

采用品質優良的絕熱材料

采用國外生產的超細玻纖包扎層和超薄屏蔽材料;

外形美觀,安裝便捷易使用

拋光不銹鋼制作,真空法蘭連接,易裝易拆卸;


半導體液氮真空管道技術參數:

管路通徑

DN10

DN20

DN25

DN40

DN50

DN60

DN80

DN100

主要材質

0Cr18Ni9

壓力等級

≯35MPa

≯23MPa

內管補償方式

自然補償器

波紋補償器

低介質溫度

-253°C

焊縫漏率

≯1×10-9Pa·m3/s

總體漏放氣速率

≯1×10-8Pa·m3/s

封口真空度

≯1.33×10-3Pa

真空壽命

大于4

機械壽命

30

連接方式

螺紋連接/小真空連接

法蘭連接/小真空連接

傳熱值

直管段

≯0.45W/m

≯0.8W/m

≯1.0W/m
≯1.0W/m

焊接接頭

≯8W/m

≯11W/m

≯14W/m

法蘭連接

≯28W/m

≯40W/m

≯40W/m


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